ディスク原盤製造装置及び基板回転駆動装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222607
公開番号（公開出願番号）：特開2003-036569
特許番号：特許第4251526号
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を載置する絶縁性のターンテーブルと、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジングに気体軸受を介して回転自在に支持されかつ前記ターンテーブルに一端が固定されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記基板を前記ターンテーブルに吸着するための静電チャック部と、を備えた回転駆動装置であって、前記静電チャック部は、前記ターンテーブル内に設けられたチャッキング電極、前記スピンドルシャフトを貫通して前記チャッキング電極にチャッキング電圧を給電する給電ケーブル、及び前記チャッキング電圧を前記給電ケーブルに供給するロータリコネクタ、を含むことを特徴とする回転駆動装置。

IPC (1件)：