歪み検出顕微鏡画像処理装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330571
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147206
特許番号：特許第3439405号
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】走査透過型電子顕微鏡像の一部の領域に対して2次元フーリエ変換を実行し前記領域の回折パターンを求めるステップと、前記回折パターン中の回折スポットの位置を求め、前記回折スポットの位置と、理想的な結晶構造から算出される回折点の位置との違いから局所的な格子の歪みを検出するステップと、を含む、ことを特徴とする測定方法。

IPC (3件)：