伊藤隆司

イトウタカシ | Ito Takashi

所属機関・部署：
職名：その他
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

広島大学客員教授

ホームページURL (1件)： http://kaken.nii.ac.jp/ja/r/20374952

研究分野 (1件)：電子デバイス、電子機器

研究キーワード (22件)： Siナノワイヤー , 結晶配向制御 , TFT , 極浅接合形成 , ノックオン注入 , 結晶粒 , チャネリング注入 , マイクロ波アニール , 電子デバイス , 活性化率 , 医療・福祉 , 放射線 , 陽電子断層撮影装置 , 半導体検出器 , CT , 放射線計測 , PET , 半導体PET , 核医学 , システム工学 , 原子力学 , 分子イメージング

競争的資金等の研究課題 (5件)：

2009 - 2011 多重チャネリングイオン注入により配向制御した単結晶Siナノワイヤーの創出
2005 - 2009 1mm以下の解像力を持つ超高分解能半導体PET(:次世代型PET)の開発
2007 - 2008 半導体デバイスの超微細化に向けた革新的な高濃度極浅接合形成技術の創出
2007 - 2008 絶縁基板上Si薄膜の3次元結晶配向制御とTFT応用
低コスト・ユビキタスチップの研究

論文 (1件)：

杉本文利, 鉾宏真, 有本由弘, 伊藤隆司. 酸化膜CMPにおけるウエハ温度のin situモニタリング. 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス. 1994. 94. 194. 1-6

MISC (51件)：

書籍 (2件)：

ULSIデバイス・プロセス技術
電子情報通信学会, コロナ社 (発売) 1995 ISBN:4885521262
VLSIの薄膜技術
丸善 1986 ISBN:4621031120

学歴 (3件)：

1971 - 1974 東京工業大学大学院理工学研究科博士課程電子工学専攻
1969 - 1971 東京工業大学大学院理工学研究科修士課程電子工学専攻
東京工業大学理工学部電子工学科

学位 (1件)：

工学博士 (東京工業大学)

経歴 (5件)：

2010/04 - 2012/03 東京工業大学特任教授
2004/08 - 2010/03 東北大学大学院教授
2003/04 - 2006/03 産業技術総合研究所先端SOC連携研究体長
2003/04 - 2004/06 富士通株式会社 LSI事業本部技師長兼あきる野テクノロジセンター長
2001/04 - 2003/03 株式会社富士通研究所シリコンテクノロジ研究所長

委員歴 (1件)：

2011/09 - 2013/08 Electrochemical Society, Inc Japan Session Char

受賞 (9件)：

2012/01 - IEEE FELLOW
2011/09 - (社)電子情報通信学会フェロー表彰
2010/04 - 文部科学省研究振興局文部科学大臣表彰科学技術賞
2009/09 - (社)応用物理学会フェロー表彰
2006/03 - (財)材料科学技術振興財団山崎貞一賞

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