湿性オゾンを用いたイオン注入レジストの除去の研究

GOTO Yousuke; ANGATA Yukihiro; IGARASHI Masanori; YAMAMOTO Masashi; NOBUTA Takuya; IIDA Takayuki; KONO Akihiko; HORIBE Hideo

文献

J-GLOBAL ID：201202205384202584 整理番号：12A0495312

湿性オゾンを用いたイオン注入レジストの除去の研究

Study of the Removal of Ion-Implanted Resists Using Wet Ozone

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資料名：
巻： 51 号： 2,Issue 1 ページ： 026504.1-026504.6 発行年： 2012年02月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

加速エネルギー10,70と150keVで線量5×10¹⁴原子/cm²のBとPイオンを注入したノボラックレジスト(イオン注入レジスト)の湿性オゾンによる除去を調べた。さらに,走査型電子顕微鏡法による断面観察からイオン注入したレジストにおける表面硬化層の存在,また化学物質による硬化層のはがれの確認,およびナノインデンテーションによる塑性変形レジストの測定を行った。湿性オゾンによるレジストの除去率は,レジストの硬度が加速エネルギーの増加関数になるため,加速エネルギーの減少関数であった。さらに,走行時2次イオン質量分析により,表面硬化層成分として不飽和結合をもつ炭化水素用のC₁₀H^-(m/z121.01)のイオン強度が,加速エネルギーの増加関数であることが分かった。クレゾールノボラック樹脂は,イオン注入により破壊され,炭化した。従って,イオン注入したレジストの除去は,加速エネルギーの増加とともに困難になる。(翻訳著者抄録)

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化学一般その他 , 高分子固体の物理的性質 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (21件)：

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