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J-GLOBAL ID：201202216959832749   整理番号：12A0706148

アルコール化学気相成長によるサファイヤ基板上のグラフェン層の直接成長特性

Direct Growth Properties of Graphene Layers on Sapphire Substrate by Alcohol-Chemical Vapor Deposition

著者 (3件)： NAKAMURA Atsushi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  MIYASAKA Yuta (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  TEMMYO Jiro (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 4,Issue 2  ページ： 04DN03.1-04DN03.5  発行年： 2012年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カーボンソースとしてエタノールを使用し,基板表面上の触媒金属無しで,アルコール化学気相成長(アルコールCVD)によりa-面(11-20)サファイヤ基板上にナノメートル厚グラフェン層を成長した。グラフェン層と基板との間の成長関係を透過型電子顕微鏡(TEM)を使用して解析した。異なった温度によるグラフェン層の成長速度は,エタノールの分解の間,Al原子が黒鉛材料を合成するための触媒として働くことを明らかにした。サファイヤ基板に直接成長したグラフェンシートの光透過率とシート抵抗を観察した。Al原子と比較してSi原子の触媒挙動を議論するために,グラフェン直接成長に対するSiO₂/Siおよびn-6H-SiC基板も調査した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *炭素材 ,  アルコール ,  *化学蒸着 ,  サファイア ,  アルミニウム ,  透過率 ,  シート抵抗 ,  石英 ,  ケイ素 ,  炭化ケイ素 ,  *ヘテロエピタクシー ,  グラファイト ,  脂肪族アルコール ,  *グラフェン
準シソーラス用語： 6H-SiC ,  光透過率 ,  黒鉛 ,  *触媒CVD

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： エタノール

引用文献 (27件)：

• 1) W. Lu, J. J. Boeckl, and W. C. Mitchel: J. Phys. D 43 (2010) 374004.
• 2) Y. Ogawa, A. Nakamura, A. Tanaka, and J. Temmyo: Jpn. J. AppI. Phys. 48 (2009) 04C140.
• 3) T. J. McArdle, J. O. Chu, Y. Zhu, Z. Liu, M. Krishnan, C. M. Breslin, C. Dimitrakopoulos, R. Wisnieff, and A. Grill: Appl. Phys. Lett. 98 (2011) 132108.
• 4) Y. Miyasaka, A. Matsuyama, A. Nakamura, and J. Temmyo: Phys. Status Solidi C 8 (2011) 577.
• 5) X. Li, W. Cai, J. An, S. Kim, J. Nah, D. Yang, R. Piner, A. Velamakanni, I. Jung, E. Tutuc, S. K. Banerjee, L. Colombo, and R. S. Ruoff: Science 324 (2009) 1312.

タイトルに関連する用語 (5件)： アルコール ,  化学気相成長 ,  サファイヤ基板 ,  グラフェン ,  成長特性