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J-GLOBAL ID：201202244040777869   整理番号：12A1600892

高電圧ICプロセスにおける中空を有するトレンチ分離の効用

Evolution of trench isolation with air-gap in high voltage IC process

著者 (11件)： 大西一真 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  大津良孝 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  宮島貴司 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  森井勝巳 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  古谷啓一 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  清水雅裕 (ルネサスセミコンダクタエンジニアリング) ,  新田哲也 (ルネサスエレクトロニクス) ,  吉久康樹 (ルネサスエレクトロニクス) ,  城本竜也 (ルネサスエレクトロニクス) ,  畑迫健一 (ルネサスエレクトロニクス) ,  一法師隆志 (ルネサスエレクトロニクス)
資料名： 電気学会電子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EDD-12  号： 42-51.53-58  ページ： 23-28  発行年： 2012年10月25日 
JST資料番号： Z0910A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 10~200Vの耐圧が必要となる高電圧ICの製造に用いられるBiC-DMOS(BiCMOS&DMOS)プロセスの素子分離耐圧構造として,中空を有するDTI(Deep Trench Isolation)分離を開発し,従来の酸化物埋め込みトレンチ構造と比較した。分離耐圧評価で中空とすることによる分離耐圧向上を確認した。またラマン分光解析で中空構造による熱処理時の応力緩和効果を確認した。さらに高温逆バイアスストレス試験のリーク電量評価により,この構造が十分な信頼性を有することも確認した。

シソーラス用語： *BiCMOS ,  *MOS構造 ,  *トレンチカット【加工】 ,  高電圧 ,  *絶縁耐力 ,  電圧
準シソーラス用語： DMOS構造 ,  耐電圧

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• [1] S.Yanagi, H.Kimura, T.Nitta, T.Kuroi, K.Hatasako, S.Maegawa, K.Onishi and Y.Otsu: "0.15μm BiC-DMOS technology with novel Stepped-STI N-channel LDMOS" Proc. ISPSD2009, pp. 80-83, 2009.
• [2] H.Tomita, H.Eguchi, S.Kijima, N.Honda, T.Yamada, H.Yamawaki, H.Aoki and K.Hamada: "Wide-Voltage SOI-BiCDMOS Technology for High-Temperature Automotive Applications" Proc. ISPSD2011, pp. 28-31, 2011.
• [3] T.Nitta, S.Yanagi, T.Miyajima, K.Furuya, Y.Otsu, H.Onoda and K.Hatasako:“Wide Voltage Power Device Implementation in 0.25μm SOI BiC-DMOS" Proc. ISPSD2006, pp. 341-344, 2006.
• [4] T.Kwon, S.Haynie, A.Sadovnikov, P.Allard, J.Strout and A.Strachan: "0.25pm, 20V High Performance Complementary Bipolar Transistor with Dual EPI and Oxide-Filled Deep Trench Isolation for High Frequency DC-DC Converters" Proc. ISPSD2011, pp. 172-175, 2011.
• [5] M.Sambi, D.Merlini, P.Galbiati, E.Bonera and F.Belletti: "A novel 0.16μm-300V SOIBCD for Ultrasound Medical Applications" Proc. ISPSD2011, pp. 36-39, 2011.

タイトルに関連する用語 (5件)： 高電圧 ,  ICプロセス ,  中空 ,  トレンチ ,  効用