FUKUDA Yukio について
Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN について
OKAMOTO Hiroshi について
Hirosaki Univ., Aomori, JPN について
IWASAKI Takuro について
Hirosaki Univ., Aomori, JPN について
IZUMI Kohei について
Hirosaki Univ., Aomori, JPN について
OTANI Yohei について
Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN について
ISHIZAKI Hiroki について
Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN について
ONO Toshiro について
Hirosaki Univ., Aomori, JPN について
Japanese Journal of Applied Physics について
固体デバイス製造技術一般 について
電子サイクロトロン共鳴プラズマ について
窒化 について
室温 について
スパッタ について
Si3N4 について
安定性 について