研究者
J-GLOBAL ID：200901000199285805   更新日: 2024年01月30日

小野 俊郎

オノ トシロウ | Ono Toshiro
研究分野 (4件)： 材料加工、組織制御 ,  機械力学、メカトロニクス ,  ロボティクス、知能機械システム ,  加工学、生産工学
研究キーワード (8件)： 誘電体薄膜形成 ,  半導体加工 ,  マイクロマシン ,  薄膜 ,  プラズマ ,  MEMS ,  thin film ,  plasma
競争的資金等の研究課題 (7件)：
  • 2006 - 2011 医用システム開発
  • 2004 - 2011 キャパシタ用高誘電体薄膜の形成技術
  • 2009 - 2010 内視鏡医療トレーニングのための括約筋をもつアクティブ臓器モデルの開発
  • 2008 - 2010 ECRスパッタ法による酸窒化誘電体薄膜の低温形成と高品質化プロセスの研究
  • 2005 - 2007 ナノ多層膜-ヘテロ磁区誘起構造を用いた極低磁場駆動磁歪素子の開発
全件表示
論文 (7件)：
もっと見る
MISC (12件)：
もっと見る
特許 (6件)：
  • 電磁波導波管及びその結合構造
  • エッチング終点判定方法
  • 膜形成用プラズマ装置
  • X-Ray Lithography Mask and Method for Manufacturing the Same
  • Ion Shower Apparatus
もっと見る
書籍 (3件)：
  • わかる機械要素設計
    2008
  • 最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術
    技術情報協会 2001
  • 精密加工実用便覧
    日刊工業社 2000
学歴 (2件)：
  • - 1975 北海道大学 工学部 精密工学科
  • - 1975 北海道大学
学位 (1件)：
  • 工学博士 (北海道大学)
経歴 (6件)：
  • 2017/04 - 2019/03 弘前大学 大学院理工学研究科 客員研究員
  • 2004/04 - 2017/03 - 弘前大学 教授
  • 1975/04 - 2004/03 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 主幹研究員
  • 1975 - 2004 Senior Research Engineer, NTT Microsystem
  • 2004 - Professor, Hirosaki University
全件表示
受賞 (2件)：
  • 1998 - 機械振興協会賞
  • 1998 - The prize of Japan society for the Promotion of Machine industry
所属学会 (7件)：
精密工学会 ,  The Electrochemical Society ,  The American Vacuum Society ,  Information and Communication Engineers ,  The Institute of Electronics ,  The Japan Society of Applied Physics ,  The Japan Society for Precision Engineering
※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

TOP

BOTTOM