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J-GLOBAL ID：201202253684818379   整理番号：12A0599600

小型X線分析顕微鏡の開発

Development of Compact X-Ray Analytical Microscope

著者 (5件)： 駒谷慎太郎 (堀場製作所) ,  駒谷慎太郎 (大阪市大 大学院工学研究科) ,  青山朋樹 (堀場製作所) ,  大澤澄人 (堀場製作所) ,  辻幸一 (大阪市大 大学院工学研究科)
資料名： X線分析の進歩  (X線工業分析)
巻： 43  ページ： 241-247  発行年： 2012年03月31日 
JST資料番号： Z0547B  ISSN： 0911-7806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来のX線分析顕微鏡は,一次X線を細く絞って試料に照射することで,微小部の蛍光X線分析を実現していた。しかし,X線を絞って分析領域を小さくすると,X線強度が落ちるため,強力なX線管が必要となり,その結果,大きな装置になっていた。そこで,我々は,一次X線を絞るのではなく,試料から発生した蛍光X線を検出する側で視野を制限することで,装置全体を小型・軽量化を図り可搬型装置にした。本手法では,試料に照射するX線の制限が無くなったため,小型・低消費電力のX線管が採用でき,バッテリーで装置を動作させることができる。検出器側のX線収集には,ポリキャピラリーハーフレンズを用いることで,空間分解能は140μmを達成し,現場での微小部の顕微分析が可能となった。(著者抄録)

シソーラス用語： *携帯型 ,  *小型化 ,  *X線顕微鏡 ,  *X線管 ,  発生 ,  固有X線 ,  視野 ,  規制 ,  検出器 ,  収集 ,  *レンズ ,  *同軸線路 ,  *顕微鏡観察 ,  軽量化 ,  二次電池 ,  駆動方式 ,  空間分解能 ,  その場観察 ,  *改変
準シソーラス用語： バッテリー ,  *ポリキャピラリーハーフレンズ ,  蛍光X線

分類 (3件)： X線回折法  (BK01020I) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  光電変換管  (NC02030O)

引用文献 (11件)：

• 1) K. Tsuji, K. Nakano, Y. Takahashi, K. Hayashi, C-U. Ro: Anal. Chem., 84, 636 (2012).
• 2) M. West, A.T. Ellis, P.J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, D. Wegrzynek, P. Wobrauschek: J. Anal. At. Spectrom., 26, 1919 (2011).
• 3) B. Beckhoff , B. Kanngießer, N. Langhoff, R. Wedell, H. Wolff:“Handbook of Practical X-Ray Fluorescence Analysis”, 433 (2006), (Springer Verlag, Berlin Heidelberg).
• 4) 中澤隆, 中野和彦, 辻 幸一:ぶんせき, 11, 654(2011).
• 5) G. Buzanich, P. Wobrauschek, C. Streli, A. Markowicz, D. Wegrzynek, E. Chinea-Cano, M. Griesser, K. Uhlir: X-Ray Spectrom., 39(2), 98 (2010).

タイトルに関連する用語 (3件)： X線分析 ,  顕微鏡 ,  開発