| 複写 |  |
|---|---|
| 関連リンク |  |
| 出版者サイト |  |
文献
J-GLOBAL ID：201202257850165155
整理番号：12A0960642 スライディング駆動電極の斜め形状を用いたLameモード八角マイクロ電気機械システム共振器
Lame-Mode Octagonal Microelectromechanical System Resonator Utilizing Slanting Shape of Sliding Driving Electrodes
クリップ引用文献 (30件)
- 1) M. Hikita, N. Matsuura, K. Yokoyama, N. Shibagaki, and K. Sakiyama: IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 50 (2002) 2629.
- 2) J. Wang, Z. Ren, and C. T. -C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. 51 (2004) 1607.
- 3) F. Nabki, K. Allidina, F. Ahmad, P. -V. Cicek, and M. N. El-Gamal: IEEE J. Solid-State Circuits 44 (2009) 2154.
- 4) H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki: IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5 (2010) 164.
- 5) S. Makita, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Dig. Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. , 2007, p. 500.
- 6) C. T. -C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. 54 (2007) 251.
- 7) M. Kiso, M. Okada, A. Tamano, H. Fujiura, H. Miyauchi, K. Niki, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 06GM03.
- 8) M. Okada, H. Nagasaki, A. Tamano, K. Niki, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 48 (2009) 06FK03.
- 9) K. Wang, A. -C. Wong, and C. T. -C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 9 (2000) 347.
- 10) K. Ikoma, M. Okazaki, and M. Esashi: IEEE Sensors, 2006, p. 1289.
- 11) Y. Xie, S. -S. Li, Y. -W. Lin, Z. Ren, and C. T. -C. Nguyen: Tech. Dig. IEDM. , 2003, p. 953.
- 12) S. -S. Li, Y. -W. Lin, Z. Ren, Y. Xie, and C. T. -C. Nguyen: Tech. Dig. Micro Electro Mechanical Systems, 2004, p. 821.
- 13) T. Oka, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 06GN05.
- 14) V. Kaajakari, T. Mattila, A. Oja, J. Kiihamaki, H. Kattelus, M. Koskenvuori, P. Rantakari, I. Tittonen, and H. Seppa: Tech. Dig. Transducers, 2003, Vol. 2, p. 951.
- 15) M. Ziaei-Moayyed, D. Elata, J. Hsieh, J. -W. P. Chen, E. P. Quevy, and R. T. Howe: Tech. Dig. Micro Electro Mechanical Systems, 2009, p. 931.
- 16) K. R. Cioffi and W. -T. Hsu: Frequency Control Symp. Expo. , 2005, p. 551.
- 17) K. Wang and C. T. -C. Nguyen: IEEE/ASME J. Microelectromech. Syst. 8 (1999) 534.
- 18) G. Piazza, P. J. Stephanou, J. M. Porter, M. B. J. Wijesundara, and A. P. Pisano: Tech. Dig. , 18th IEEE Int. MEMS Conf. , 2005, p. 20.
- 19) L. Khine, L. Palaniapan, and M. W. -K. Wong: IEEE Transducers and Eurosensors, 2007, p. 1753.
- 20) K. Hashimoto, K. Ito, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 067201.
前のページに戻る
