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J-GLOBAL ID：201202259037348067   整理番号：12A1652950

X線ミラー用のプラチナ/カーボンマルチレイヤーのインターフェイス粗さの改良

Improvement of interface roughness in platinum/carbon multilayers for X-ray mirrors

著者 (6件)： KIM Jangwoo (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUYAMA Satoshi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUYAMA Satoshi (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  SANO Yasuhisa (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Kazuto (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAUCHI Kazuto (JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 523/524  ページ： 1076-1079  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線ミラー用のプラチナ/カーボンマルチレイヤーのインターフェイス粗さの改良研究を提示した。蒸着時の結晶化作用に起因するインターフェイス粗さを減少させるため,プラチナのカーボンドーピングを提案しその有効性を評価した。45nm厚単層プラチナとカーボンドーププラチナフィルムを比較した。カーボンドーププラチナフィルムでは,カーボン濃度1%から15%の範囲でプラチナ層にカーボン原子を加えた。これらのフィルムは,シリコン(100)基板上にdcマグネトロンスパッタリングで蒸着させた。各フィルムの表面厚さとX線回折スペクトラムは,原子間力顕微鏡とX線回折により個別に測定した。研究の結果,カーボン濃度の増加がプラチナの結晶化を抑制し,表面粗さを減少させるとの結論を得た。

シソーラス用語： 硬X線 ,  *反射鏡 ,  多層 ,  白金 ,  結晶化
準シソーラス用語： *X線反射鏡 ,  X線反射率 ,  *カーボンドーピング ,  *界面粗さ

分類 (1件)： 固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (6件)： X線ミラー ,  プラチナ ,  カーボン ,  マルチレイヤー ,  インターフェイス ,  粗さ