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J-GLOBAL ID：201202292162457100   整理番号：12A0779900

中性粒子ビームエッチングを用いた共振器におけるプラズマ起因機械的損傷の回復:アレイ化カンチレバによるウエハスケール検証

RECOVERY OF PLASMA-INDUCED MECHANICAL DAMAGE IN RESONATORS USING NEUTRAL BEAM ETCHING: WAFER-SCALE VALIDATION BY ARRAYED CANTILEVERS

著者 (13件)： NISHIMORI Y. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  NISHIMORI Y. (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  UEKI S. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  MIWA K. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  MIWA K. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KUBOTA T. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  KUBOTA T. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAMUKAWA S. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  SAMUKAWA S. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HASHIGUCHI G. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  HASHIGUCHI G. (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SUGIYAMA M. (3D BEANS Center, Tokyo, JPN) ,  SUGIYAMA M. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 313-316  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： NBE(中性粒子ビームエッチング)と呼ぶMEMS素子エッチング法は,プラズマ損傷起因の希望しない素子特性を回避するうえで極めて有効である。本論文では,NBEによるプラズマ起因損傷除去法,すなわち従来型プラズマプロセスとNBEの低温組み合わせ法を提案した。共振器性能に影響を与えるエッチング損傷のQ値を含む定量的評価法を導入した。プラズマ起因損傷除去のためのNBE処理効果を評価するため,垂直および水平という2タイプのカンチレバーを製作した。その結果は,プラズマプロセス起因の表面損傷低減でのNBEの有効性を示した。

シソーラス用語： *中性粒子ビーム ,  ドライエッチング ,  共振器 ,  *プラズマエッチング ,  低温 ,  *損傷 ,  Q値 ,  評価 ,  片持梁 ,  障害回復
準シソーラス用語： *カンチレバー ,  *機能回復 ,  低温加工 ,  定量的評価

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (12件)： 中性粒子ビーム ,  エッチング ,  共振器 ,  プラズマ ,  起因 ,  機械的損傷 ,  回復 ,  アレイ ,  カンチレバ ,  ウエハ ,  スケール ,  検証