特許
J-GLOBAL ID：201203004236614472

炭素薄膜の製造方法、炭素薄膜を含んだ電子素子及び炭素薄膜を含んだ電気化学素子

発明者：
李 泰 雨

李 泰 雨 について

, 
崔 喜 哲

崔 喜 哲 について

, 
卞 善 禎

卞 善 禎 について


出願人/特許権者：
浦項工科大学校 産学協力団

浦項工科大学校 産学協力団 について


代理人 (1件)： 八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-160969
公開番号（公開出願番号）：特開2012-025653
出願日： 2011年07月22日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】炭素薄膜の製造方法、炭素薄膜を含んだ電子素子及び炭素薄膜を含んだ電気化学素子を提供する。【解決手段】基板上にコーティング工程を利用し、高分子膜を形成する段階と、高分子膜上に保護膜を形成する段階と、基板を熱処理し、基板上に炭素薄膜を形成する段階と、を含む炭素薄膜の製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上にコーティング工程を利用して、高分子膜を形成する段階と、 前記高分子膜上に保護膜を形成する段階と、 前記基板を熱処理し、前記基板上に炭素薄膜を形成する段階と、を含む炭素薄膜の製造方法。
IPC (17件)：
C01B 31/02 ,  B82Y 40/00 ,  B82Y 20/00 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26 ,  H05B 33/28 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/42 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/30 ,  H01L 51/40 ,  H01M 4/96 ,  H01M 4/587 ,  H01M 4/139
FI (19件)：
C01B31/02 101Z ,  B82Y40/00 ,  B82Y20/00 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z ,  H05B33/26 Z ,  H05B33/28 ,  H05B33/10 ,  H05B33/02 ,  H01L31/04 D ,  H01L29/78 626C ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 250E ,  H01L29/28 310L ,  H01M4/96 B ,  H01M4/58 103 ,  H01M4/02 111
Fターム (110件)：
3K107AA01 ,  3K107AA05 ,  3K107BB01 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107DD13 ,  3K107DD14 ,  3K107DD15 ,  3K107DD16 ,  3K107DD17 ,  3K107DD18 ,  3K107DD24 ,  3K107DD39 ,  3K107DD42X ,  3K107DD44X ,  3K107DD45X ,  3K107DD46X ,  3K107FF05 ,  3K107FF17 ,  3K107GG06 ,  3K107GG09 ,  3K107GG12 ,  3K107GG14 ,  3K107GG26 ,  3K107GG28 ,  4G146AA01 ,  4G146AB07 ,  4G146AC16B ,  4G146AC20B ,  4G146AD24 ,  4G146AD25 ,  4G146AD29 ,  4G146AD30 ,  4G146BA13 ,  4G146BA16 ,  4G146BA20 ,  4G146BA45 ,  4G146BB02 ,  4G146BB06 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC03 ,  4G146BC23 ,  4G146BC34A ,  4G146BC34B ,  4G146BC35A ,  4G146BC37A ,  4G146BC37B ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146CA02 ,  4G146CB01 ,  5F110AA16 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110BB04 ,  5F110BB05 ,  5F110BB09 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110GG01 ,  5F110GG05 ,  5F110GG20 ,  5F110GG25 ,  5F110GG42 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK06 ,  5F110HK17 ,  5F110QQ06 ,  5F151AA11 ,  5F151BA11 ,  5F151DA03 ,  5F151DA07 ,  5F151FA06 ,  5F151FA13 ,  5F151FA15 ,  5H018AA02 ,  5H018BB01 ,  5H018BB08 ,  5H018DD08 ,  5H018EE05 ,  5H018EE06 ,  5H018EE17 ,  5H050AA19 ,  5H050BA17 ,  5H050CA14 ,  5H050CB12 ,  5H050DA04 ,  5H050FA02 ,  5H050FA18 ,  5H050GA02 ,  5H050GA10 ,  5H050GA22 ,  5H050HA02 ,  5H050HA14
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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