特許
J-GLOBAL ID：201203004239589258

感活性光線性又は感放射線性組成物、並びに、この組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法

発明者：
土村 智孝

土村 智孝 について

, 
椿 英明

椿 英明 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (18件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-148310
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013807
出願日： 2010年06月29日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】感度、PEB温度依存性及びラフネス特性に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性組成物は、下記一般式(B-I)により表され、活性光線又は放射線の照射により分解して一般式HBAにより表される化合物を発生する第1化合物を含有している。【化1】【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(B-I)により表され、活性光線又は放射線の照射により分解して一般式HBAにより表される化合物を発生する第1化合物を含有した感活性光線性又は感放射線性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/28
FI (5件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/28
Fターム (94件)：
2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE05P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF27P ,  2H125AF29P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH11 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AJ13X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM12P ,  2H125AM15P ,  2H125AM16P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN63P ,  2H125AN67P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB08 ,  2H125CB09 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CC17 ,  2H125CD01P ,  2H125CD35 ,  4J100AB02P ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA40R ,  4J100BB18S ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03S ,  4J100BC04R ,  4J100BC04S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC43R ,  4J100BC44R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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