特許
J-GLOBAL ID:201203007499866564
設計ライブラリデータベース
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (17件):
蔵田 昌俊
, 高倉 成男
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-158403
公開番号(公開出願番号):特開2012-004574
出願日: 2011年07月19日
公開日(公表日): 2012年01月05日
要約:
【課題】結晶化半導体薄膜に対して適正かつ効率的なフォトマスクの作成を可能にする。【解決手段】1実施形態に係る設計ライブラリデータベースは、2次元的に区画して各々薄膜トランジスタのチャネル領域のサイズを超える複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化半導体薄膜を用いる薄膜トランジスタ回路の設計ライブラリデータベースであって、各々のチャネル領域が単一の前記結晶粒規定領域内の固定位置に配置される2個以上の薄膜トランジスタおよび前記2個以上の薄膜トランジスタを相互接続する配線を含む様々な論理ゲート回路をそれぞれ表す複数のスタンダードセル、並びに前記様々な論理ゲート回路の様々な組み合わせをそれぞれ表す複数のマクロセルの少なくとも一方のセルのライブラリ、および前記複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化アレイパターンのスタンダードセルのライブラリを含みハードディスクに登録される。【選択図】図2
請求項(抜粋):
2次元的に区画して各々薄膜トランジスタのチャネル領域のサイズを超える複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化半導体薄膜を用いる薄膜トランジスタ回路の設計ライブラリデータベースであって、各々のチャネル領域が単一の前記結晶粒規定領域内の固定位置に配置される2個以上の薄膜トランジスタおよび前記2個以上の薄膜トランジスタを相互接続する配線を含む様々な論理ゲート回路をそれぞれ表す複数のスタンダードセル、並びに前記様々な論理ゲート回路の様々な組み合わせをそれぞれ表す複数のマクロセルの少なくとも一方のセルのライブラリ、および前記複数の結晶粒規定領域が配置された結晶化アレイパターンのスタンダードセルのライブラリがハードディスクに登録された設計ライブラリデータベース。
IPC (5件):
H01L 21/20
, H01L 21/82
, H01L 29/786
, G02F 1/136
, G06F 17/50
FI (6件):
H01L21/20
, H01L21/82 B
, H01L21/82 C
, H01L29/78 613A
, G02F1/1368
, G06F17/50 658M
Fターム (76件):
2H092GA59
, 2H092JA24
, 2H092JB57
, 2H092KA04
, 2H092KB24
, 2H092MA14
, 2H092MA30
, 2H092MA35
, 2H092NA27
, 5B046AA08
, 5B046BA03
, 5B046KA06
, 5F064AA04
, 5F064BB02
, 5F064BB03
, 5F064BB07
, 5F064BB30
, 5F064CC09
, 5F064CC12
, 5F064CC30
, 5F064DD02
, 5F064DD09
, 5F064DD14
, 5F064DD18
, 5F064DD25
, 5F064DD50
, 5F064EE02
, 5F064EE22
, 5F064EE27
, 5F064EE33
, 5F064EE47
, 5F064EE52
, 5F064EE57
, 5F064GG07
, 5F064HH01
, 5F064HH06
, 5F064HH08
, 5F064HH09
, 5F064HH10
, 5F064HH12
, 5F110AA16
, 5F110BB02
, 5F110BB04
, 5F110DD02
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD17
, 5F110EE06
, 5F110FF02
, 5F110GG02
, 5F110GG13
, 5F110GG16
, 5F110GG24
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HL12
, 5F110NN03
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN72
, 5F110PP03
, 5F110PP06
, 5F152AA02
, 5F152AA06
, 5F152BB02
, 5F152CC02
, 5F152CD13
, 5F152CD14
, 5F152CE05
, 5F152CE24
, 5F152EE04
, 5F152FF01
, 5F152FF43
, 5F152FG03
引用特許:
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