特許
J-GLOBAL ID：201203008060712460
干渉膜厚計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大槻 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-159248
公開番号（公開出願番号）：特開2012-021856
出願日： 2010年07月14日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：
【課題】 同一の測定対象物について、干渉反射光の光強度分布を繰り返し取得することにより、高精度の膜厚測定を行う干渉膜厚計を提供する。【解決手段】 検出光を生成する光源と、検出光の参照面による反射光及び測定対象物による反射光からなる干渉反射光L3を生成する干渉光学系と、干渉反射光L3を分光する分光手段と、分光された干渉反射光L3を検出し、波長ごとの光強度分布を取得する光強度分布取得手段と、光強度分布に基づく特性曲線について、空間周波数ごとの特性強度分布を求める特性強度分布算出手段と、タイミングを異ならせて取得した2以上の光強度分布からそれぞれ求められた2以上の特性強度分布を合成する特性強度合成手段と、合成後の特性強度分布に含まれる2以上のピークの空間周波数に基づいて、測定対象物の膜厚を算出する膜厚算出手段により構成される。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
検出光を生成する光源と、
上記検出光の参照面による反射光及び測定対象物による反射光からなる干渉反射光を生成する干渉光学系と、
上記干渉反射光を分光する分光手段と、
分光された上記干渉反射光を検出し、波長ごとの光強度分布を取得する光強度分布取得手段と、
上記光強度分布に基づく特性曲線について、空間周波数ごとの特性強度分布を求める特性強度分布算出手段と、
タイミングを異ならせて取得した2以上の上記光強度分布からそれぞれ求められた2以上の上記特性強度分布を合成する特性強度合成手段と、
合成後の上記特性強度分布に含まれる2以上のピークの空間周波数に基づいて、測定対象物の膜厚を算出する膜厚算出手段とを備えたことを特徴とする干渉膜厚計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (38件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065FF51
, 2F065FF52
, 2F065GG07
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL42
, 2F065LL67
, 2F065MM03
, 2F065MM06
, 2F065QQ03
, 2F065QQ06
, 2F065QQ08
, 2F065QQ16
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2F065QQ29
, 2F065QQ37
, 2F065QQ44
, 2F065SS01
, 2F065SS13
, 2F065UU05
