特許
J-GLOBAL ID：200903094656633778
ナノスケールの熱センサ及び加熱プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-035201
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212390
出願日： 2006年02月13日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】水中や生体など電気を通す環境においても、数nmの精度と数マイクロ秒の応答時間で試料の熱情報の計測と試料の加熱ができ、均質に製造できるプローブを提供する。【解決手段】導電性の有無に選らないナノ探針1が、基板4上に通常の微細加工技術で形成した基板に接しない細線部をヒーター2とする中央部分に突出して接合され、ヒーター2の両端部にある通電用端子部3a、3dと電圧計測用端子部3b、3cが、接合用リード線6a〜6dおよび通電用電極膜7a〜7dを経由し、電源8、電流計9、電圧計10に接続されることにより、ヒーター2は加熱されると同時にその抵抗値が計測される。ヒーター2に接合したナノ短針1を、試料12の表面に接触またはAFM装置等と組み合わせて走査しながら、電源8の制御とヒーター2の抵抗値の計測を行うことにより、試料12の加熱および熱情報の計測が可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に細長い細線部と細線部の両端に通電用端子部と電圧計測用端子部が構成された金属薄膜と、微小ヒーターとなる細線部の中央部分に突出させて接合したナノ探針からなる加熱プローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/16
, G12B 21/02
, G01K 7/18
G01N13/16 C
, G12B1/00 601A
, G01K7/18 B
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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