特許
J-GLOBAL ID：200903084094300406
カーボンナノ構造材の製造方法、フィールドエミッションディスプレイおよび走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
北村 欣一
, 吉岡 正志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-064060
公開番号（公開出願番号）：特開2006-247758
出願日： 2005年03月08日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】表面に炭素皮膜を形成した基板にイオン照射して、基板の表面に形成された各微小突起の頂部に1本ずつカーボンナノ構造材を成長させて、基板上にナノ構造材をバラけた疎の状態で得るに際し、基板の表面に形成する炭素皮膜を適切なものに選択することによって、低い電流密度のイオン照射によってナノ構造材を疎な状態で成長可能としたカーボンナノ構造材の製造方法。【解決手段】有機ポリマー溶液としてアクリロニトリル系重合体の溶液を基板の表面に塗布し、ついで基板を酸素含有雰囲気中で200〜400°Cの温度で焼成してアクリロニトリル系重合体の塗膜を予備酸化処理し、ついで基板を不活性雰囲気中で少なくとも1000°Cの温度で焼成することによって塗膜を炭化処理して、基板表面に炭素皮膜を形成する。基板表面に70μA/cm2で100分間のイオン照射を行うと(実施例1)、カーボンナノファイバをバラけた状態で得ることができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板の表面に有機ポリマー溶液を塗布し、前記有機ポリマー溶液が塗布された基板を真空加熱炉で加熱処理して、前記基板の表面に炭素皮膜を形成し、前記炭素皮膜が形成された基板の表面に真空槽でイオンビームを照射して、前記基板の表面に形成された多数の突起のそれぞれの頂部にカーボンナノファイバまたはカーボンナノチューブであるカーボンナノ構造材が1本成長した態様で、前記基板の表面にカーボンナノ構造材を形成することを特徴とするカーボンナノ構造材の製造方法。
IPC (3件)：
B82B 3/00
, C01B 31/02
, H01J 31/12
B82B3/00
, C01B31/02 101F
, H01J31/12 C
4G146AA07
, 4G146AA11
, 4G146AB08
, 4G146AD28
, 4G146AD29
, 4G146BA16
, 4G146BA18
, 4G146BA22
, 4G146BA49
, 4G146BB06
, 4G146BB10
, 4G146BB23
, 4G146BC07
, 4G146BC15
, 4G146BC16
, 4G146BC17
, 4G146BC27
, 4G146BC32A
, 4G146BC32B
, 4G146BC34A
, 4G146BC37B
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA17
, 4G146DA28
, 4G146DA30
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH11
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
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