特許
J-GLOBAL ID：201203019193903588
位置検出用スケールの計測装置、位置検出用スケールの計測方法、及びスケールの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-071359
公開番号（公開出願番号）：特開2012-207923
出願日： 2011年03月29日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：
【課題】位置検出用スケールの誤差を検出する精度を向上させる。【解決手段】位置検出用スケールの計測装置は、位置検出に使用されるスケールの位置情報を検出する複数の検出部を有し、スケールに対して移動方向に相対的に移動する位置検出部と、複数の検出部のうち少なくとも2つの検出部による検出結果に基づいて、スケールの誤差を検出する誤差検出部と、を備える。そして、複数の検出部のうち少なくとも2つの検出部は、移動方向において互いに所定の第1間隔で配置されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
位置検出に使用されるスケールの位置情報を検出する複数の検出部を有し、前記スケールに対して移動方向に相対的に移動する位置検出部と、
前記複数の検出部のうち少なくとも2つの前記検出部による検出結果に基づいて、前記スケールの誤差を検出する誤差検出部と、を備え、
前記複数の検出部のうち前記少なくとも2つの検出部は、前記移動方向において互いに所定の第1間隔で配置されている
ことを特徴とする位置検出用スケールの計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2F077AA48
, 2F077CC02
, 2F077NN05
, 2F077NN27
, 2F077PP19
, 2F077QQ02
, 2F077TT71
, 2F077VV33
