特許

J-GLOBAL ID：201203021104645869

電気的にトリミングされた共振器本体を有するマイクロ電気機械式共振器及びジュール加熱によりこれを製造する方法

発明者： アヤジ,ファルーク ,  サマラオ,アシュウィン
出願人/特許権者： ジョージア・テック・リサーチ・コーポレイション
代理人 (10件)： 奥山 尚一 ,  有原 幸一 ,  松島 鉄男 ,  河村 英文 ,  吉田 尚美 ,  中村 綾子 ,  深川 英里 ,  森本 聡二 ,  角田 恭子 ,  広瀬 幹規
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-538647
公開番号（公開出願番号）：特表2012-510234
出願日： 2009年11月23日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

マイクロ電気機械式共振器は、比較的広い温度範囲にわたって共振器の周波数の温度係数(TCF)を低下させるため、約1×1018cm-3よりも大きなレベルまで、またさらに約1×1019cm-3よりも大きなレベルまでボロンがドープされた半導体領域を有する共振器本体を備えている。TCFにおけるさらなる改善は、共振器本体にボロンを縮退ドーピングすることと、共振器本体にボロンを利用したアルミニウム・ドーピングを行うこととのいずれかまたは両方によって達成されうる。

請求項（抜粋）：

電気的にトリミングされた共振器本体を有するマイクロ電気機械式共振器であって、前記共振器本体が、剛性が強化された少なくとも1つの半導体領域を有し、前記半導体領域が金属と半導体との格子結合を含むものである、マイクロ電気機械式共振器。

IPC (4件)：

H03H 9/24 ,  B81B 3/00 ,  B81C 99/00 ,  H03H 3/013

FI (4件)：

H03H9/24 Z ,  B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  H03H3/013

Fターム (13件)：

3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081CA40 ,  3C081CA44 ,  3C081DA04 ,  3C081DA27 ,  3C081EA22 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108NA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 多結晶シリコン共振ビーム変換器およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-078988   出願人：ウィスコンシンアラムニリサーチファンデーション
• 薄膜圧電共振器およびフィルタ回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-379490   出願人：株式会社東芝
• MEMSデバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-131316   出願人：セイコーエプソン株式会社
• MEM共振器の周波数を調整するための方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-510707   出願人：ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング

引用文献：

審査官引用 (2件)

• HIGH-Q MECHANICAL TUNING OF MEMS RESONATORS USING A METAL DEPOSITION - ANNEALING TECHNIQUE
• HIGH-Q MECHANICAL TUNING OF MEMS RESONATORS USING A METAL DEPOSITION - ANNEALING TECHNIQUE