特許
J-GLOBAL ID：201203021706043045

研磨保持用パッド

発明者：
世良 範幸

世良 範幸 について

, 
前田 裕司

前田 裕司 について


出願人/特許権者：
日本発條株式会社

日本発條株式会社 について


代理人 (1件)： 清水 定信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-151566
公開番号（公開出願番号）：特開2012-011516
出願日： 2010年07月02日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】 生産コストを低減でき、低密度でありながら研磨粒子を含むスラリーが気孔内に浸透することがなく、復元性に優れるため長期間使用可能で、被研磨物との間にエアーの貯留の発生もなく、溶剤使用量が少なく環境汚染を改善できる研磨保持用パッドを得る。【解決手段】 長径が10μm以下の微細な開孔を有する連続気泡型発泡ウレタンシートの一面側に熱硬化性ウレタン発泡体が形成されており、研磨対象物を保持するための定盤に前記熱硬化性ウレタン発泡体の他面側を固着させて前記連続気泡型発泡ウレタンシートの他面側が前記研磨対象物に当接する研磨保持用パッドにおいて、前記連続気泡型発泡ウレタンシートは厚みが110μm以下であり、密度が990kg/m3以下であって、前記熱硬化性ウレタン発泡体は圧縮永久歪が10以下である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
長径が10μm以下の微細な開孔を有する連続気泡型発泡ウレタンシートの一面側に熱硬化性ウレタン発泡体が形成されており、研磨対象物を保持するための定盤に前記熱硬化性ウレタン発泡体の他面側を固着させて前記連続気泡型発泡ウレタンシートの他面側が前記研磨対象物に当接する研磨保持用パッドにおいて、前記連続気泡型発泡ウレタンシートは厚みが110μm以下であり、密度が990kg/m3以下であって、前記熱硬化性ウレタン発泡体は圧縮永久歪が10以下であることを特徴とする研磨保持用パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/30 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B24B37/04 L ,  H01L21/304 622H
Fターム (9件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  5F057AA37 ,  5F057EC01 ,  5F057FA14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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