特許
J-GLOBAL ID:201203022133856824

漏れ検査装置及び漏れ検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 高畑 靖世 ,  木村 嘉弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-174174
公開番号(公開出願番号):特開2012-032351
出願日: 2010年08月03日
公開日(公表日): 2012年02月16日
要約:
【課題】ワークの漏れ検査を行うにあたって、漏れ検査に要する時間を短縮することのできる装置及び漏れ検査方法を提供する。【解決手段】内容積が既知のワーク内に圧力源から気体を供給して前記ワークから漏れる気体の量を測定する装置であって、一端側が圧力源に接続され、他端がワークとの接続口を構成する第1気体供給管と、一端側が圧力源に接続され、他端が第1気体供給管に接続されるとともに、その流路内を流れる気体の量を測定する流量計が介装される第2気体供給管と、第1気体供給管に接続される排気バルブと、前記圧力源から第1気体供給管への気体の供給と、前記圧力源から第2気体供給管への気体の供給とを略同時にそれぞれ遮断する手段とを用いて装置を構成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
内容積が既知のワーク内に圧力源から気体を供給して前記ワークから漏れる気体の量を測定する装置であって、 一端側が圧力源に接続され、他端がワークとの接続口を構成する第1気体供給管と、 一端側が圧力源に接続され、他端が第1気体供給管に接続されるとともに、その流路内を流れる気体の量を測定する流量計が介装される第2気体供給管と、 前記圧力源から第1気体供給管への気体の供給と、前記圧力源から第2気体供給管への気体の供給とをそれぞれ遮断するとともに、第1気体供給管と第2気体供給管とを前記流量計の上流側で分離する遮断手段と、 を有することを特徴とする漏れ検査装置。
IPC (1件):
G01M 3/26
FI (1件):
G01M3/26 L
Fターム (5件):
2G067AA21 ,  2G067AA25 ,  2G067BB04 ,  2G067CC04 ,  2G067DD04
引用特許:
審査官引用 (4件)
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