特許
J-GLOBAL ID：201203030274254545
光導波路及びその製造方法と光導波路装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-263055
公開番号（公開出願番号）：特開2012-113180
出願日： 2010年11月26日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：
【課題】溝部内の傾斜面の空気界面で光路を変換させる光導波路の製造方法において、十分な機械的強度が得られると共に、信頼性の高い光路変換用の傾斜面を得ること。【解決手段】基板10の上に、第1クラッド層20を形成する工程と、第1クラッド層20の上にコア層22を形成する工程と、コア層22を厚み方向に加工することにより、光路変換傾斜面Sを備えた溝部22xを形成する工程と、第1クラッド層20及びコア層22の上に、光路変換傾斜面Sの上に光路変換ホールLHが配置された第2クラッド層24を形成する工程とを含む。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板の上に、第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記コア層を厚み方向に加工することにより、光路変換傾斜面を備えた溝部を形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に、前記光路変換傾斜面の上に光路変換ホールが配置された第2クラッド層を形成する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2H147AB04
, 2H147AB05
, 2H147BD10
, 2H147BG02
, 2H147BG17
, 2H147CA13
, 2H147CB06
, 2H147CB07
, 2H147CD02
, 2H147DA08
, 2H147DA09
, 2H147DA10
, 2H147DA19
, 2H147EA20B
, 2H147FD14
, 2H147FD15
, 2H147FE02
, 2H147FF05
