特許
J-GLOBAL ID:200903070750771606

光導波装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 逢坂 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-231945
公開番号(公開出願番号):特開2006-047894
出願日: 2004年08月09日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】 光導波路内において効率良く光を伝搬させながら光検出を行うことができ、作製が容易な光導波装置を提供すること。【解決手段】 光入射部から光出射部へ光を導くSiO2膜等の光導波路21aと、この光導波路21aの外面に接して設けられたフォトダイオード等の受光部2と、光導波路21aに内設された45°ミラー面の光反射部5とを有し、垂直入射光11をミラー9で反射後に導びかれた信号光11を光反射部5によって90°光路変換して受光部2に入射してモニタを行う一方、残りの信号光を光導波路21aから出射する、光導波装置23a。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光入射部から光出射部へ光を導く光導波路と、前記光導波路の外面に接して設けられた光電変換素子と、前記光導波路に内設された光反射部とを有し、前記光反射部によって前記光導波路と前記光電変換素子との間で光路変換が行われる、光導波装置。
IPC (2件):
G02B 6/122 ,  H01L 31/023
FI (3件):
G02B6/12 B ,  G02B6/12 C ,  H01L31/02 C
Fターム (15件):
2H047KA03 ,  2H047LA01 ,  2H047LA09 ,  2H047MA01 ,  2H047MA03 ,  2H047MA05 ,  2H047MA07 ,  2H047PA24 ,  2H047QA02 ,  5F088AA01 ,  5F088BA03 ,  5F088BA18 ,  5F088BB10 ,  5F088JA11 ,  5F088JA14
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • WO 2004/010192 A2(第7頁15行目〜第8頁20行目、FIG.1)
審査官引用 (6件)
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