特許
J-GLOBAL ID：201203035526615335
検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 伊坪 公一
, 樋口 外治
, 小林 龍
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-079528
公開番号（公開出願番号）：特開2012-127934
出願日： 2011年03月31日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】被検査面における欠陥の位置に依存せずに欠陥の有無を判断できる検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】本明細書に開示する欠陥の検査方法は、明部11b及び暗部11cを有する照明パターンを、被検査面21に照射し、被検査面21の同じ領域が、明部11bで照らされる第1画像30a及び暗部11cで照らされる第2画像30bを取得し、被検査面21の所定領域に対応する第1画像30a内の領域の輝度と、基準被検査面が明部11bで照らされて取得された第1基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度と、被検査面21の被検査面21の所定領域に対応する前記第2画像30b内の領域の輝度と、基準被検査面が暗部11cで照らされて取得された第2基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、被検査面21の所定領域の欠陥の有無を判断する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
明部及び暗部を有する照明パターンを、被検査面に照射し、
被検査面の同じ領域が、前記明部で照らされる第1画像及び前記暗部で照らされる第2画像を取得し、
被検査面の所定領域に対応する前記第1画像内の領域の輝度と、基準被検査面が前記明部で照らされて取得された第1基準画像内の被検査面の前記所定領域に対応する領域の輝度と、前記所定領域に対応する前記第2画像内の領域の輝度と、基準被検査面が前記暗部で照らされて取得された第2基準画像内の被検査面の前記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、前記所定領域の欠陥の有無を判断する検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB12
, 2G051BA20
, 2G051BB07
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA14
, 2G051EA17
, 2G051ED11
