特許
J-GLOBAL ID：201203041532001500

光照射装置および光照射方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-071694
公開番号（公開出願番号）：特開2012-206266
出願日： 2011年03月29日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：
【課題】露出した接着シートの接着剤に不活性ガスを効率よく供給することで、不活性ガスの供給量を減らしても接着剤の硬化不良を確実に抑制することができる光照射装置および光照射方法を提供すること。【解決手段】石英ガラス22の表面に形成した接近面22Bおよび凹部22Aによって、空間SPに供給した不活性ガスを接着シートSの貼付端縁部SEに誘導することで、この貼付端縁部SE近傍を確実に不活性ガス雰囲気とした状態で発光手段4から所定波長の光を照射することができ、接着シートSの接着剤層ADの硬化不良を防止することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
接着シートと当該接着シートが接着剤層を介して貼付された被着体とを含む被照射体に光を照射する光照射装置であって、 前記被照射体を支持する支持手段と、 前記被照射体に対向配置されて所定波長の光を照射可能な発光手段と、 前記被照射体と前記発光手段との間の空間に不活性ガスを供給する供給手段と、 前記供給した不活性ガスを前記被照射体における前記接着シートの貼付端縁部に誘導するガス誘導手段とを備えることを特徴とする光照射装置。
IPC (2件)：
B29C 35/08 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
B29C35/08 ,  H01L21/68 N
Fターム (14件)：
4F203AA44 ,  4F203AK03 ,  4F203AM30 ,  4F203DA12 ,  4F203DB01 ,  4F203DC07 ,  4F203DL14 ,  4F203DM12 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA39 ,  5F031PA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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