特許
J-GLOBAL ID:201203049570553704
珪素微粒子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-183768
公開番号(公開出願番号):特開2012-041230
出願日: 2010年08月19日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】粒子径のそろった珪素微粒子を効率よく製造する方法を提供する。【解決手段】本発明は、不活性雰囲気下において、珪素源と炭素源とを含む混合物を焼成する焼成工程と、混合物を焼成することにより生成した気体を急冷し、珪素微粒子と酸化珪素とを含んだ複合粉体を得る急冷工程と、酸化雰囲気下において、複合粉体を加熱する加熱工程と、加熱された複合粉体から一酸化珪素及び二酸化珪素を除去する除去工程とを備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
不活性雰囲気下において、珪素源と炭素源とを含む混合物を焼成する焼成工程と、
前記混合物を焼成することにより生成した気体を急冷し、珪素微粒子と酸化珪素とを含んだ複合粉体を得る急冷工程と、
酸化雰囲気下において、前記複合粉体を加熱する加熱工程と、
加熱された前記複合粉体から一酸化珪素及び二酸化珪素を除去する除去工程とを備えた珪素微粒子の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (16件):
4G072AA01
, 4G072BB05
, 4G072GG01
, 4G072GG03
, 4G072GG05
, 4G072HH28
, 4G072HH29
, 4G072JJ47
, 4G072LL03
, 4G072MM02
, 4G072MM03
, 4G072MM26
, 4G072MM40
, 4G072RR01
, 4G072RR11
, 4G072RR13
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