特許
J-GLOBAL ID：201203053880146618
インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、液滴吐出装置および画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
本多 章悟
, 樺山 亨
, 工藤 修一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-061637
公開番号（公開出願番号）：特開2012-196838
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】半導体プロセス中のプラズマや大気中の水分による圧電体の劣化を防止し、圧電素子の変位量を増大させると同時に、個別電極等の配線の制約を無くすことで、高い信頼性(耐湿性)と高い吐出特性を維持しつつ、小型のインクジェットヘッドを実現して提供する。【解決手段】個別電極配線7と下部電極4との間に、絶縁膜9と絶縁膜10とが形成されており、駆動信号入力部20を除く個別電極配線7の形成領域を含む領域に、絶縁膜11と絶縁膜12とが積層されており、個別液室1の形成領域の一部に、絶縁膜10と絶縁膜11または絶縁膜9〜11が開口する領域があり、圧電素子15の形成部を含む領域であって、絶縁膜10と絶縁膜11との開口領域に絶縁膜9と絶縁膜12とが形成されているか、または絶縁膜9〜11の開口領域に、絶縁膜12が形成されているインクジェットヘッドである。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
隔壁により区画された個別液室が配列される液室基板上に振動板が形成され、前記振動板上の前記個別液室に対向する側に下部電極、圧電体、上部電極から構成される圧電素子が形成されており、前記上部電極と導通する個別電極配線により駆動信号入力部まで引き出されるインクジェットヘッドにおいて、
少なくとも、前記個別電極配線と前記下部電極とが重なり合う領域における前記個別電極配線と前記下部電極との間に、第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とが形成されており、
前記駆動信号入力部を除く前記個別電極配線の形成領域を含む領域に、第3の絶縁膜と第4の絶縁膜とが積層されており、
前記個別液室の形成領域の少なくとも一部に、第2の絶縁膜と第3の絶縁膜または第1の絶縁膜と第2の絶縁膜と第3の絶縁膜とが形成されていない非成膜領域があり、
前記圧電素子形成部を含む領域であって、第2の絶縁膜と第3の絶縁膜との前記非成膜領域に第1の絶縁膜と第4の絶縁膜とが形成されているか、または第1の絶縁膜と第2の絶縁膜と第3の絶縁膜との前記非成膜領域に第4の絶縁膜が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF37
, 2C057AG41
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP54
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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