特許
J-GLOBAL ID：201003094210272373

圧電素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

発明者：
高橋 秀治

高橋 秀治 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-061782
公開番号（公開出願番号）：特開2010-219153
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】電極間のリーク電流の発生及び応力集中が効果的に抑制されるとともに、高密度化が可能であり、さらに、圧電体層のプラズマダメージが抑制された圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子10は、支持体12と、支持体12上に形成されている下部電極16と、下部電極16上に形成されている圧電体層20と、圧電体層20上に下部電極16と対向するように形成されている上部電極24と、を有し、圧電体層20の下部電極16側の面が上部電極24側の面よりも大きくなるように圧電体層20の下部電極16側の周囲に段差部20Aが形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持体と、 前記支持体上に形成されている下部電極と、 前記下部電極上に形成されている圧電体層と、 前記圧電体層上に前記下部電極と対向するように形成されている上部電極と、を有し、 前記圧電体層の前記下部電極側の面が前記上部電極側の面よりも大きくなるように前記圧電体層の前記下部電極側の周囲に段差部が形成されている圧電素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 21/306
FI (6件)：
H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 L ,  H01L21/302 105A
Fターム (16件)：
5F004AA16 ,  5F004BA14 ,  5F004BB13 ,  5F004BB14 ,  5F004BD04 ,  5F004DA04 ,  5F004DA16 ,  5F004DA18 ,  5F004DA23 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB13 ,  5F004EA05 ,  5F004EA06 ,  5F004EA31 ,  5F004EB08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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