特許
J-GLOBAL ID：201203056004005011
ポジ型感光性樹脂組成物及び永久レジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
羽鳥 修
, 中野 廣己
, 深津 有未子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-262740
公開番号（公開出願番号）：特開2012-113160
出願日： 2010年11月25日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：
【課題】高耐熱性、高耐溶剤性、高透過率及び低誘電率の層間絶縁膜の形成に好適であり、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できる大きな現像マージンを有するポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】ベース樹脂としてカルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するポリシロキサン化合物、感光性成分として感光性ジアゾキノン化合物、有機溶剤、並びに、下記一般式(1)で表わされるアルキルシラン化合物と下記一般式(2)で表わされるアリールシラン化合物との加水分解縮合物とを含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ベース樹脂としてカルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するポリシロキサン化合物、感光性成分として感光性ジアゾキノン化合物、並びに有機溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物において、下記一般式(1)で表わされるアルキルシラン化合物と下記一般式(2)で表わされるアリールシラン化合物との加水分解縮合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023
, G03F 7/075
, H01L 21/027
G03F7/023
, G03F7/075 521
, H01L21/30 502R
2H125AE12P
, 2H125AF05P
, 2H125AM85P
, 2H125AN39P
, 2H125CA11
, 2H125CA12
, 2H125CB05
, 2H125CC03
, 2H125CC21
