特許
J-GLOBAL ID：201203056099205608

インプリント装置及びインプリント転写方法

発明者：
白石 敏光

白石 敏光 について

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山下 尚晃

山下 尚晃 について

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青木 正史

青木 正史 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-168314
公開番号（公開出願番号）：特開2012-028685
出願日： 2010年07月27日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】ガラスにゴミや汚れの付着、傷がある場合においても、UV光による硬化品質の均一性を保ち、UV硬化樹脂の均一な塗布厚が得られるインプリント装置又はインプリント転写方法を提供することにある。【解決手段】スタンパの表面に有する凹凸形状を、被転写体にエネルギーを照射し、前記転写体に転写し、その後、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント装置またはインプリント転写方法において、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を、平面形状を有する平面加圧体21で加圧し、その後、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧し、前記加圧平面体による加圧と、前記流体による加圧との加圧タイミングを制御して前記転写を行うことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に凹凸形状を有するスタンパと、前記凹凸形状が表面に転写される被転写体と、前記被転写体にエネルギーを照射するエネルギー源とを、前記スタンパを前記被転写体から剥離するインプリント装置において、 前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第1の裏面を平面形状を有する平面加圧体で加圧する平面加圧手段と、前記スタンパ又は前記被転写体の少なくとも一方の第2の裏面を流体で加圧する流体加圧手段と、前記平面加圧手段と前記流体加圧手段との加圧タイミングを制御する制御手段を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (2件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z
Fターム (12件)：
4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AR02 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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