特許
J-GLOBAL ID:201203056147909582
遠赤外撮像装置およびそれを用いた撮像方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
井上 学
, 戸田 裕二
, 渡邊 孝弘
, 岩崎 重美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-167681
公開番号(公開出願番号):特開2012-026943
出願日: 2010年07月27日
公開日(公表日): 2012年02月09日
要約:
【課題】遠赤外光を試料へ照射し、試料の像を検出する遠赤外光撮像装置であって、高出力の光源を用いずに、撮像対象物である試料に損傷あるいは非線形現象を起こさせず、高速に試料を撮像できる装置および方法を得る。【解決手段】遠赤外光を試料上で横長形状あるいは複数の点が横長に並んだ形状にして試料を照明し、遠赤外光の横長方向に直角な方向に試料を移動させながら像を検出することを特徴とする。さらに、遠赤外光発光素子へフェムト秒パルス光源からのパルス状のポンプ光をあてることにより、前記遠赤外光が放射されることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
遠赤外光を試料へ照射し、前記試料の像を検出する遠赤外光撮像装置において、
前記遠赤外光を放射する遠赤外光発光素子と、
前記遠赤外光を前記試料上で横長形状あるいは複数の点が横長につながった形状にする照明光学系と、
前記遠赤外光の横長方向に直角な方向に前記試料を移動させながら前記像を検出する結像光学系とを備えたことを特徴とする遠赤外撮像装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (17件):
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ14
, 2G059JJ24
, 2G059KK04
, 2G059LL10
, 2G059MM01
引用特許:
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