ポジ型感放射線性樹脂組成物、表示素子用層間絶縁膜及びその形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：天野一規 , 藤本勝誠 , 奥谷優 , 池田義典 , 小川博生 , 石田耕治 , 森田慶子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-027834
公開番号（公開出願番号）：特開2012-168289
出願日： 2011年02月10日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：

【課題】本発明の目的は、十分な感度を有するポジ型感放射線性樹脂組成物、並びにこのポジ型感放射線性樹脂組成物を用い、優れた耐メルトフロー性、耐熱性及び耐溶媒性を有し、電圧保持率に優れる層間絶縁膜及びその形成方法を提供することである。【解決手段】本発明は、[A1]ケイ素原子に炭素原子で結合する有機基のうち、エポキシ基を有する有機基の含有割合が、0モル%以上50モル%未満であるポリオルガノシロキサン、及び[A2]上記含有割合が、50モル%以上100モル%以下であるポリオルガノシロキサンを含有するポジ型感放射線性樹脂組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A1]ケイ素原子に炭素原子で結合する有機基のうち、エポキシ基を有する有機基の含有割合が、0モル%以上50モル%未満であるポリオルガノシロキサン、及び [A2]上記含有割合が、50モル%以上100モル%以下であるポリオルガノシロキサンを含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/075 , G03F 7/022 , G03F 7/40 , C08G 77/14 , C08G 59/20

FI (5件)：

G03F7/075 521 , G03F7/022 , G03F7/40 501 , C08G77/14 , C08G59/20

Fターム (58件)：

2H096AA27 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096HA03 , 2H096JA04 , 2H125AE12P , 2H125AE30P , 2H125AF04P , 2H125AF05P , 2H125AF18P , 2H125AF21P , 2H125AF35P , 2H125AF46P , 2H125AF70P , 2H125AM86P , 2H125AM94P , 2H125AN38P , 2H125BA33P , 2H125CA21 , 2H125CB02 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 4J036AK17 , 4J036EA05 , 4J036FA12 , 4J036FA13 , 4J036HA01 , 4J036JA05 , 4J036JA09 , 4J036KA01 , 4J246BA11 , 4J246BA12X , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA13 , 4J246CA14 , 4J246CA23 , 4J246CA24X , 4J246CA40X , 4J246CA68 , 4J246CA68X , 4J246CA69 , 4J246FA011 , 4J246FA071 , 4J246FA131 , 4J246FA321 , 4J246FA431 , 4J246FB183 , 4J246GC12 , 4J246GC47 , 4J246GC52 , 4J246GD08 , 4J246HA11 , 4J246HA15 , 4J246HA62 , 4J246HA63

引用特許：

審査官引用 (5件)

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-009145 出願人：JSR株式会社
樹脂組成物、光学膜及び光学用部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-201510 出願人：JSR株式会社
感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜および硬化膜を有する素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-343866 出願人：東レ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

化学大辞典1 縮刷版, 19760910, 第19刷, p.967

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