特許
J-GLOBAL ID：200903004410870976

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法

発明者：
花村 政暁

花村 政暁 について

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内池 千浩

内池 千浩 について

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三谷 浩司

三谷 浩司 について

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飯島 孝浩

飯島 孝浩 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 大島 正孝 ,  勝又 秀夫 ,  白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-009145
公開番号（公開出願番号）：特開2008-176037
出願日： 2007年01月18日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基および/またはオキセタニル基含有不飽和化合物、および(a3)(a1)成分および(a2)成分以外の不飽和化合物の共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、ならびに[C][A]成分と熱により架橋反応する官能基を含有するシロキサンオリゴマーを含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、 (a2)エポキシ基および/またはオキセタニル基含有不飽和化合物、および (a3)(a1)成分および(a2)成分以外の不飽和化合物の共重合体 [B]1,2-キノンジアジド化合物、ならびに [C][A]成分と熱により架橋反応する官能基を含有するシロキサンオリゴマー を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/022 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00
FI (5件)：
G03F7/022 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/075 501 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 A
Fターム (17件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (10件)
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