特許

J-GLOBAL ID：201203058242339400

窒化アルミニウム単結晶およびその製造方法

発明者： 纐纈 明伯 ,  熊谷 義直 ,  永島 徹 ,  久保田 有紀
出願人/特許権者： 国立大学法人東京農工大学 ,  株式会社トクヤマ
代理人 (2件)： 前田 均 ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025292
公開番号（公開出願番号）：特開2012-188344
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：

【課題】波長240〜300nmの領域における紫外光の透過性に優れた窒化アルミニウム単結晶、該単結晶からなる層を有する積層体、該積層体を製造する方法、および該積層体から紫外光の透過性に優れる窒化アルミニウム単結晶を製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 酸素原子、及び炭素原子を含む窒化アルミニウム単結晶であって、酸素原子の濃度を[O]cm-3、炭素原子の濃度を[C]cm-3としたときに、下記式(1)の条件を満足することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶。 [O]-[C] > 0 (1)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

酸素原子、及び炭素原子を含む窒化アルミニウム単結晶であって、酸素原子の濃度を[O]cm-3、炭素原子の濃度を[C]cm-3としたときに、下記式(1)の条件を満足することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶。 [O]-[C] > 0 (1)

IPC (4件)：

C30B 29/38 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/01 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

C30B29/38 C ,  C23C16/34 ,  C23C16/01 ,  H01L21/205

Fターム (46件)：

4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077AB01 ,  4G077BE13 ,  4G077DB05 ,  4G077EA02 ,  4G077EB01 ,  4G077EC10 ,  4G077ED06 ,  4G077EF03 ,  4G077EG04 ,  4G077FG12 ,  4G077FJ03 ,  4G077GA01 ,  4G077GA06 ,  4G077HA02 ,  4K030AA03 ,  4K030AA10 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA02 ,  4K030BA38 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA01 ,  4K030DA03 ,  4K030DA08 ,  4K030FA10 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045AB09 ,  5F045AC02 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AC18 ,  5F045AC19 ,  5F045AD18 ,  5F045AF04 ,  5F045AF09 ,  5F045BB12 ,  5F045CA09 ,  5F045DA52 ,  5F045DA60

引用特許：

審査官引用 (4件)

• クラックフリーIII族窒化物半導体材料の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-036894   出願人：テクノロジーズアンドデバイシーズインターナショナル,インコーポレイテッド
• III族窒化物半導体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-109830   出願人：株式会社トクヤマ
• 窒化アルミニウム単結晶の製造方法及び窒化アルミニウム単結晶
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-220981   出願人：日本碍子株式会社
• AlxGayIn1-x-yN結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-161762   出願人：住友電気工業株式会社