特許
J-GLOBAL ID：201203058242339400

窒化アルミニウム単結晶およびその製造方法

発明者：
纐纈 明伯

纐纈 明伯 について

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熊谷 義直

熊谷 義直 について

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永島 徹

永島 徹 について

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久保田 有紀

久保田 有紀 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東京農工大学

国立大学法人東京農工大学 について

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株式会社トクヤマ

株式会社トクヤマ について


代理人 (2件)： 前田 均 ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025292
公開番号（公開出願番号）：特開2012-188344
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：
【課題】波長240〜300nmの領域における紫外光の透過性に優れた窒化アルミニウム単結晶、該単結晶からなる層を有する積層体、該積層体を製造する方法、および該積層体から紫外光の透過性に優れる窒化アルミニウム単結晶を製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 酸素原子、及び炭素原子を含む窒化アルミニウム単結晶であって、酸素原子の濃度を[O]cm-3、炭素原子の濃度を[C]cm-3としたときに、下記式(1)の条件を満足することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶。 [O]-[C] > 0 (1)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸素原子、及び炭素原子を含む窒化アルミニウム単結晶であって、酸素原子の濃度を[O]cm-3、炭素原子の濃度を[C]cm-3としたときに、下記式(1)の条件を満足することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶。 [O]-[C] > 0 (1)
IPC (4件)：
C30B 29/38 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/01 ,  H01L 21/205
FI (4件)：
C30B29/38 C ,  C23C16/34 ,  C23C16/01 ,  H01L21/205
Fターム (46件)：
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077AB01 ,  4G077BE13 ,  4G077DB05 ,  4G077EA02 ,  4G077EB01 ,  4G077EC10 ,  4G077ED06 ,  4G077EF03 ,  4G077EG04 ,  4G077FG12 ,  4G077FJ03 ,  4G077GA01 ,  4G077GA06 ,  4G077HA02 ,  4K030AA03 ,  4K030AA10 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA02 ,  4K030BA38 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA01 ,  4K030DA03 ,  4K030DA08 ,  4K030FA10 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045AB09 ,  5F045AC02 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AC18 ,  5F045AC19 ,  5F045AD18 ,  5F045AF04 ,  5F045AF09 ,  5F045BB12 ,  5F045CA09 ,  5F045DA52 ,  5F045DA60
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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