特許

J-GLOBAL ID：201203064655502555

チャンバ装置

発明者： 永井 伸治 ,  若林 理
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所 ,  ギガフォトン株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-012096
公開番号（公開出願番号）：特開2012-146613
出願日： 2011年01月24日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】チャンバ内に配置された要素の特性や性能が劣化することを抑制する。【解決手段】チャンバ装置は、レーザシステムおよび前記レーザシステムから出力されるレーザ光を集光する集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光を内部へ導入するための入射口を有するチャンバと、前記チャンバに取り付けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給システムと、前記チャンバ内に配置され、前記チャンバ内で前記ターゲット物質に前記レーザ光が照射されて発生した帯電粒子を回収するための回収部と、を備えてもよい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザシステムおよび前記レーザシステムから出力されるレーザ光を集光する集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、 前記レーザ光を内部へ導入するための入射口を有するチャンバと、 前記チャンバに取り付けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給システムと、 前記チャンバ内に配置され、前記チャンバ内で前記ターゲット物質に前記レーザ光が照射されて発生した帯電粒子を回収するための回収部と、 を備えるチャンバ装置。

IPC (3件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S ,  G03F7/20 521

Fターム (11件)：

4C092AA06 ,  4C092AA10 ,  4C092AA15 ,  4C092AC09 ,  4C092BD05 ,  4C092BD17 ,  4C092BD18 ,  4C092BD19 ,  4C092BD20 ,  5F046GC03 ,  5F146GC11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 極端紫外光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-118168   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
• 極端紫外光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-052301   出願人：株式会社小松製作所
• 極端紫外光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-342700   出願人：国立大学法人宮崎大学
• 極端紫外光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-058229   出願人：株式会社小松製作所