特許
J-GLOBAL ID：201203066017945159
エネルギー分析器の軸合わせ方法及び装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-017142
公開番号（公開出願番号）：特開2012-160261
出願日： 2011年01月28日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：
【課題】軸合わせの作業に訓練と経験を積んだ者でなくとも、容易にかつ精度良くエネルギー分析器の位置合わせを行うことができる技術を提供する。【解決手段】エネルギー偏向器を備えたエネルギー分析器の軸合わせを行う方法において、試料を3次元的に移動可能な試料ステージに載置し、エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた2次電子捕集器を設け、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度を検出するとともに、2次電子捕集器により2次電子を捕集し、2次電子強度を検出し、両信号強度の比を算出する手法により、x-y平面で1次ビームを移動させ、x-y平面における位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させ、z方向の位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求め、x-y平面におけるピーク位置とz方向におけるピーク位置で定まる点を最適点とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための方法であって、
試料を3次元的(x方向、y方向、z方向)に移動可能な試料ステージに載置し、
エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた2次電子捕集器を設け、
エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度Ispectrを検出するとともに、2次電子捕集器により2次電子を捕集し、2次電子強度Isを検出し、特定の信号電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子の強度との比Ispectr/Isを算出し、x-y平面で1次ビームを移動させ、前記の算出法によりx-y平面における位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させ、前記の算出法によりz方向の位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求め、
x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置を最適点とすることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ方法。
IPC (4件)：
H01J 49/44
, H01J 49/48
, H01J 37/244
, H01J 37/04
H01J49/44
, H01J49/48
, H01J37/244
, H01J37/04 B
5C030AA02
, 5C030AA09
, 5C030AA10
, 5C033NP04
, 5C033NP06
, 5C033NP08
, 5C038KK05
, 5C038KK08
, 5C038KK17
, 5C038KK22
