特許
J-GLOBAL ID：201203067911232772

酸化物材料および半導体装置

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
中島 基

中島 基 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-094131
公開番号（公開出願番号）：特開2012-232889
出願日： 2012年04月17日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：
【課題】トランジスタに安定した電気的特性を付与し、信頼性の高い半導体装置を提供する。また、このような半導体装置を実現する酸化物材料を提供する。【解決手段】それぞれ、c軸配向し、ab面、上面または被形成面に垂直な方向から見て少なくとも三角形状または六角形状の原子配列を有し、c軸においては、金属原子が層状または金属原子と酸素原子とが層状に配列しており、In2SnZn2O7(ZnO)m(mは0または自然数。)で表される、ab面(または上面または被形成面)においては、a軸またはb軸の向きが異なる二種以上の結晶部分を含む酸化物膜を用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化物材料は、 c軸配向し、ab面に垂直な方向から見て三角形状または六角形状の原子配列を有し、In2SnZn2O7(ZnO)m(mは0または自然数。)で表され、かつa軸またはb軸の向きが異なる二種以上の結晶部分を含むことを特徴とする酸化物材料。
IPC (8件)：
C01G 19/00 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  G02F 1/136
FI (9件)：
C01G19/00 A ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 620 ,  H01L27/10 321 ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 621Z ,  H01L27/10 671Z ,  H01L27/10 671C ,  G02F1/1368
Fターム (118件)：
2H092JA25 ,  2H092JA28 ,  2H092JA46 ,  2H092JB68 ,  2H092KA04 ,  2H092KA08 ,  2H092KA10 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092NA24 ,  5F083AD02 ,  5F083AD21 ,  5F083AD69 ,  5F083EP02 ,  5F083EP22 ,  5F083GA06 ,  5F083GA11 ,  5F083HA02 ,  5F083JA02 ,  5F083JA03 ,  5F083JA04 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA19 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA42 ,  5F083JA56 ,  5F083JA60 ,  5F083LA21 ,  5F083PR21 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34 ,  5F083PR40 ,  5F101BA17 ,  5F101BB02 ,  5F101BC20 ,  5F101BD02 ,  5F101BD30 ,  5F101BE02 ,  5F101BF02 ,  5F101BF09 ,  5F101BH02 ,  5F101BH16 ,  5F110AA14 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110CC02 ,  5F110CC06 ,  5F110DD01 ,  5F110DD07 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG07 ,  5F110GG14 ,  5F110GG17 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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