特許
J-GLOBAL ID：201203071362533746
大領域窒化物結晶およびその作製方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舛谷 威志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-134782
公開番号（公開出願番号）：特開2012-001432
出願日： 2011年06月17日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
【課題】大領域のガリウム含有窒化物結晶の成長のための方法を提供する。【解決手段】転位密度が約107cm-2よりも低い少なくとも2つの結晶201、202を提供する工程と、ハンドル基板を提供する工程と、少なくとも2つの結晶201、202をハンドル基板に対してウェーハ接合する工程と、少なくとも2つの結晶201,202を成長させて、溶合結晶として合体させる工程と、を含み、第1の結晶201と第2の結晶202との間の極性配向不整角度γは、0.5度未満であり、方位配向不整角度αおよびβは1度未満である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
大領域結晶の成長方法であって、
転位密度が約107cm-2よりも低い少なくとも2つの結晶を提供する工程と、
ハンドル基板を提供する工程と、
前記少なくとも2つの結晶を前記ハンドル基板に対してウェーハ接合する工程と、
前記少なくとも2つの結晶を成長させて、溶合結晶として合体させる工程と、
を含み、
前記第1の結晶と前記第2の結晶との間の極性配向不整角度γは、0.5度未満であり、方位配向不整角度αおよびβは1度未満である、ことを特徴とする大領域結晶の成長方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
4G077AA02
, 4G077BE11
, 4G077BE13
, 4G077BE15
, 4G077CB04
, 4G077CG01
, 4G077DA05
, 4G077DB05
, 4G077DB08
, 4G077ED04
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077EE01
, 4G077EE06
, 4G077EE08
, 4G077EE10
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
