特許
J-GLOBAL ID：201203073374742084

感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、膜及び該組成物を用いたパターン形成方法

発明者：
越島 康介

越島 康介 について

, 
渋谷 明規

渋谷 明規 について

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山口 修平

山口 修平 について

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片岡 祥平

片岡 祥平 について

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飯塚 裕介

飯塚 裕介 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (18件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-171854
公開番号（公開出願番号）：特開2012-032602
出願日： 2010年07月30日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：
【課題】ドライ露光の場合と比較して液浸露光による感度の劣化が抑制され、且つ液浸液追随性に優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、感活性光線性または感放射線性膜、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】下記(A)〜(C)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。(A)活性光線又は放射線の照射により一般式(I)で表されるスルホン酸を発生する少なくとも1種の化合物、(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び(C)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂。(式中の符号は、特許請求の範囲及び明細書に記載の意義を有する。)【化1】【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記(A)〜(C)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (A)活性光線又は放射線の照射により一般式(I)で表されるスルホン酸を発生する少なくとも1種の化合物、 (B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び (C)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂。
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/38 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (63件)：
2H096AA25 ,  2H096FA10 ,  2H125AF13P ,  2H125AF14P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF21P ,  2H125AF27P ,  2H125AF33P ,  2H125AF35P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AF55P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH13 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH18 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ16X ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ82Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AM12P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM34P ,  2H125AM38P ,  2H125AM43P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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