特許
J-GLOBAL ID：201203077151618247

有機層蒸着装置及びこれを用いた有機発光ディスプレイ装置の製造方法

発明者：
ワレリー・プルシンスキー

ワレリー・プルシンスキー について

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レン・カプラン

レン・カプラン について

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鄭 世呼

鄭 世呼 について

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玄 元植

玄 元植 について

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羅 興烈

羅 興烈 について

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朴 慶太

朴 慶太 について

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鄭 炳成

鄭 炳成 について

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崔 鎔燮

崔 鎔燮 について


出願人/特許権者：
三星モバイルディスプレイ株式會社

三星モバイルディスプレイ株式會社 について


代理人 (2件)： 佐伯 義文 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-230609
公開番号（公開出願番号）：特開2012-092448
出願日： 2011年10月20日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：
【課題】大型基板の量産工程にさらに適しており、高精細のパターニングを可能にする有機層蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板上に有機層を形成するための有機層蒸着装置において、基板と結合して基板を固定させ、基板の載置面が所定の曲率を持つように形成される静電チャック;基板側に蒸着物質を放射する蒸着源;蒸着源の一側に配置され、第1方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部;蒸着源ノズル部と対向して配置され、第1方向に対して垂直の第2方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、第2方向と、第1方向及び第2方向に対して垂直の第3方向とが形成する平面上での断面が一定に曲げられるように形成されるパターニングスリットシート;を備える有機層蒸着装置。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板上に有機層を形成するための有機層蒸着装置において、 前記基板と結合して前記基板を固定させ、前記基板の載置面が所定の曲率を持つように形成される静電チャックと、 前記基板側に蒸着物質を放射する蒸着源と、 前記蒸着源の一側に配置され、第1方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、 前記蒸着源ノズル部と対向して配置され、前記第1方向に対して垂直の第2方向に沿って複数のパターニングスリットが形成され、前記第2方向と、前記第1方向及び第2方向に対して垂直の第3方向とが形成する平面上での断面が一定に曲げられるように形成されるパターニングスリットシートと、を備え、 前記蒸着源、蒸着源ノズル部及びパターニングスリットシートは前記基板と所定距離離隔して形成されて、前記基板が、前記蒸着源、蒸着源ノズル部及びパターニングスリットシートに対して前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着されることを特徴とする有機層蒸着装置。
IPC (5件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/50 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (5件)：
C23C14/24 G ,  C23C14/04 A ,  C23C14/50 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (23件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K029KA01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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