特許
J-GLOBAL ID：200903062334330100
真空熱蒸着用のマルチノズル蒸着器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
林 恒徳
, 土井 健二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-523813
公開番号（公開出願番号）：特表2008-530372
出願日： 2007年07月03日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：
【課題】 材料の使用効率を向上させつつ、蒸着器で蒸発すべき材料を基板に蒸着でき、これによって、面積が大きくて均一な薄膜を形成するマルチノズル蒸着器が開示される。【解決手段】 蒸着器は、開放上面を有する円筒状のまたは長方形の柱状のるつぼ31または51と、るつぼ31または51の高さよりも低い高さの円筒状または長方形の柱形状を有しかつるつぼの上部に組み立てられる本体部と、本体部の上面と底面との間で本体部を貫通しつつ、ある角度で形成された複数の蒸発管とを備えるノズルユニット32とを有する。蒸発される材料は、傾斜した蒸発管によって基板の周辺領域に向かって噴出し、これによって、蒸着すべき薄膜の均一性と、蒸発される材料の使用効率とが向上し、噴出部における蒸発された材料の凝縮が防止される。
請求項（抜粋）：
真空熱蒸着用のマルチノズル蒸着器であって、
開放上面を有する円筒状るつぼと、
前記るつぼの高さよりも低い高さの円筒形状を有しかつ前記るつぼの上部に組み立てられる本体部と、前記本体部の上面と底面との間で前記本体部を貫通し、ある角度で形成された複数の蒸発管とを備えるノズルユニットであって、当該ノズルユニットの前記蒸発管の各々の下端開口部の中心が、前記本体部の中心から所定半径を有する同一の円周に配置され、前記蒸発管の上端開口部の中心が、前記下端開口部の前記中心を通過する前記円周の接線に配置されるノズルユニットと、を有するマルチノズル蒸着器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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