特許
J-GLOBAL ID：201203086316421345

試料ステージ装置

発明者：
小林 孝司

小林 孝司 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-145353
公開番号（公開出願番号）：特開2012-009340
出願日： 2010年06月25日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：
【課題】試料ステージ装置における、ギャップの初期状態等の駆動条件に影響されることなく、熱ドリフトや振動によるノイズを抑えることが可能で、安定した試料テーブルの高速な位置決め制御方式を提供する。【解決手段】試料ステージ装置10は、ギャップ25,26等による駆動条件の影響を受けない所定周期毎の理想的な位置情報xtg(i) , tg(i)を算出し、この所定周期毎に、レーザー干渉計33,34等により構成される位置検出器によるリアルタイムな測定位値x(i) ,y(i)と理想的な位置情報xtg(i) , tg(i)との偏差dx(i) ,dy(i)をリアルタイムに求める構成になっている。その上で、この求められた偏差dx(i) ,dy(i)から測定値x(i) ,y(i)が理想的な位置情報xtg(i) , tg(i)に追従するようなモータ27,28の速度指令値vx(i) ,vy(i)を算出し、リアルタイムな速度制御を行うフィードバック制御により、安定した試料テーブル11の高速な位置決め制御を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料が搭載されるテーブルと、 該テーブルを移動させる二次元平面上の各座標軸方向に対応させて複数設けられた駆動機構と、 前記テーブルの各座標軸方向の位置をリアルタイムで計測する計測機構と を有し、 前記テーブルとギャップを有して係合する前記各駆動機構の作用部を該当する座標軸方向に沿って進退させて、前記テーブルを該当する座標軸方向に移動させる 構成の試料ステージ装置であって、 前記テーブルの移動に際し、各座標軸方向それぞれの前記テーブルの移動開始位置から移動先位置までの間を予めに設定された制御パラメータに従って細分化し、各座標軸方向それぞれの所定周期毎の位置指令値を生成する論理パターン生成手段と、 該所定周期毎に、当該周期の位置指令値と前記計測機構によって計測された当該周期の計測位置との偏差に基づいて、当該周期で前記各駆動機構を駆動する速度指令値を生成する速度指令値生成手段と、 当該生成された速度指令値で前記各作用部を対応する座標軸方向に進退させる駆動信号を前記各駆動機構に供給する駆動機構駆動手段と を備えていることを特徴とする試料ステージ装置。
IPC (2件)：
H01J 37/20 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
H01J37/20 D ,  H01L21/68 K
Fターム (11件)：
5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD02 ,  5C001DD03 ,  5F031CA02 ,  5F031HA12 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031MA33
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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