特許
J-GLOBAL ID：201203086725911737
光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-261123
公開番号（公開出願番号）：特開2012-114198
出願日： 2010年11月24日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：
【課題】高いスループットを達成することのできる光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】光学ユニット20は、光源装置と被照射面との間に配置され、光源装置からの露光光ELを波面分割して反射する複数の入射側ミラー要素47を有する入射側フライアイミラー45と、入射側フライアイミラー45で波面分割された露光光ELを反射する複数の射出側ミラー要素67を有する射出側フライアイミラー65とを備える。また、光源装置と入射側フライアイミラー45との間に挿入可能に配置され、光源装置からの露光光ELを波面分割して、その反面分割した露光光ELを、射出側フライアイミラー65の位置に配置される射出側フライアイミラーに入射させる射出側フライアイミラー50を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光源からの光を用いて被照射面を照明する光学ユニットであって、
前記光源と前記被照射面との間に配置され、前記光源からの光を波面分割して反射する複数の第1ミラー要素を有する第1のフライアイミラーと、
前記第1のフライアイミラーで波面分割された光を反射する複数の第2ミラー要素を有する第2のフライアイミラーと、
前記光源と前記第1のフライアイミラーとの間に挿入可能に配置され、前記光源からの光を波面分割して、前記第2のフライアイミラーに反射する複数の第3ミラー要素を有する第3のフライアイミラーと、
を備えることを特徴とする光学ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 17/06
, G02B 5/10
H01L21/30 531A
, G02B17/06
, G02B5/10 A
2H042DB14
, 2H042DD04
, 2H042DD08
, 2H042DE04
, 2H087KA21
, 2H087TA02
, 2H087TA08
, 5F046GB01
, 5F146GB11
