特許
J-GLOBAL ID：200903053598294684

照明装置、投影露光方法、投影露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法

発明者：
鈴木 健司

鈴木 健司 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-069438
公開番号（公開出願番号）：特開2006-253487
出願日： 2005年03月11日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】二次光源群生成用のミラー群における単位ミラーの個数を抑えながら二次光源群における光の充填率を向上させる。【解決手段】光源(1)からの光束に基づき二次光源群を形成するために、多数の反射素子を並列配置してなる反射素子群(3a)を用いると共に、前記反射素子群が形成した前記二次光源群からの光を被照射面(5)に導くコンデンサ光学系(4)を用いる。さらに、前記二次光源群における光の充填率を向上させるために、前記反射素子群(3a)に入射する前記光束の入射角度を変更して所望の発散角度を持つ発散光束に変換する変換手段(2)を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光束に基づき二次光源群を形成するために、多数の反射素子を並列配置してなる反射素子群と、 前記反射素子群が形成した前記二次光源群からの光を被照射面に導くコンデンサ光学系と、 前記二次光源群における光の充填率を向上させるために、前記反射素子群に入射する前記光束の入射角度を変更して所望の発散角度を持つ発散光束に変換する変換手段と を備えたことを特徴とする照明装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G02B 13/14 ,  G02B 13/24 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20
FI (6件)：
H01L21/30 531A ,  G02B13/14 ,  G02B13/24 ,  G02B17/08 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 517
Fターム (15件)：
2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087RA46 ,  2H087TA01 ,  2H087TA08 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB02 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM