特許
J-GLOBAL ID:201203092765261271

顕微鏡および顕微鏡検査法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠 ,  本田 淳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-189560
公開番号(公開出願番号):特開2012-078802
出願日: 2011年08月31日
公開日(公表日): 2012年04月19日
要約:
【課題】偏光状態を切り換える顕微鏡および顕微鏡検査法を提供する。【解決手段】ある部分領域でその断面に沿って変調周波数で位相変調される少なくとも1つの照明光線と、照明光線を試料に集束するための顕微鏡対物レンズと、検出光路と、少なくとも1つの復調手段とを有する顕微鏡であって、少なくとも1つの偏光変更要素が照明光路内に設けられており、その偏光変更要素に、位相影響度が異なる少なくとも2つの領域を有する位相板が後置されている顕微鏡。第2の実施形態は、少なくとも1つの照明光線と、該照明光線を試料に集束するための顕微鏡対物レンズと、少なくとも1つの変調器を備える検出光路とを有する顕微鏡であって、照明光線が、少なくとも2つの光路に交互に分配され、第1の光路とは異なる場モードを形成するための要素が光路の1つに設けられており、異なる場モードを有する2つの光路が焦点で重畳される顕微鏡に関する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ある部分領域内でその断面に沿って変調周波数で位相変調される少なくとも1つの照明光線と、照明光線を試料に集束するための顕微鏡対物レンズと、検出光路と、少なくとも1つの復調手段とを有する顕微鏡であって、 少なくとも1つの偏光変更要素が照明光路内に設けられており、該偏光変更要素には、位相影響度が異なる少なくとも2つの領域を有する位相板が後置されている、顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/06 ,  G02B 21/14
FI (2件):
G02B21/06 ,  G02B21/14
Fターム (7件):
2H052AA01 ,  2H052AA03 ,  2H052AA09 ,  2H052AB01 ,  2H052AC10 ,  2H052AC18 ,  2H052AC34
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 超解像顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-238688   出願人:オリンパス株式会社, 国立大学法人東京工業大学
  • 磁気偏光顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-315100   出願人:株式会社ニコン
  • 走査型レーザ顕微鏡装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-162288   出願人:オリンパス株式会社
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審査官引用 (4件)
  • 超解像顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-238688   出願人:オリンパス株式会社, 国立大学法人東京工業大学
  • 磁気偏光顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-315100   出願人:株式会社ニコン
  • 走査型レーザ顕微鏡装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-162288   出願人:オリンパス株式会社
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