特許
J-GLOBAL ID：201203097721219660

表面検査装置及び表面検査方法

発明者：
和佐 泰宏

和佐 泰宏 について

, 
梶田 昌和

梶田 昌和 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (2件)： 安田 敏雄 ,  安田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-149640
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013509
出願日： 2010年06月30日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】長手方向に連続的に入った表面疵を精度よく検出することができるようにする。【解決手段】長尺の被検査材2の表面を照明する照明手段16と、被検査材2の表面を撮像する撮像手段17と、この撮像手段17にて撮像された被検査材2の表面の画像を処理して欠陥部20を抽出する画像処理手段18とを備えた表面検査装置15において、照明手段16を当該被検査材2の周りに揺動又は回転させる移動手段19を備えている。移動手段19は、被検査材2を囲うように形成され且つ照明手段16が被検査材2を向くように当該照明手段16を支持する支持部材21を備え、この支持部材21は照明手段16が被検査材2の周りを揺動又は回転できるように移動自在となっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
長尺の被検査材の表面を照明する照明手段と、被検査材の表面を撮像する撮像手段と、この撮像手段にて撮像された被検査材の表面の画像を処理して欠陥部を抽出する画像処理手段とを備えた表面検査装置において、 前記照明手段を当該被検査材の周りに揺動又は回転させる移動手段を備えていることを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/892
FI (1件)：
G01N21/892 C
Fターム (16件)：
2G051AA44 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB02 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051CD05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01
引用特許：
審査官引用 (7件)
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