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J-GLOBAL ID：201302203062917051   整理番号：13A1165628

蛍光顕微鏡によるナノインプリントパターンの分解能限界

Resolution Limits of Nanoimprinted Patterns by Fluorescence Microscopy

著者 (4件)： KUBO Shoichi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TOMIOKA Tatsuya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 6,Issue 2  ページ： 06GJ01.1-06GJ01.6  発行年： 2013年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 蛍光色素をドープしたナノインプリントレジストの凸線間の最小距離を求めるために,光学的分解能限界を調べた。蛍光紫外線(UV)硬化レジンと熱可塑性プラスチックレジン膜を,それぞれ,UVナノインプリントと熱ナノインプリントにより縞模様をパターニングした。蛍光液浸観察は,レジスト膜に混和しない浸漬媒質を必要とし,可溶性の熱可塑性プラスチックポリスチレンパターンには,トリイソブチルメチルホスホニウムトシラートのイオン液体が適している。様々な開口数(NA)値と2つの検出波長範囲を用いた観察から,分解能限界はSparrow基準によって推定された値よりも小さいことがわかった。線パターンを決定するための空間幅は,線幅が増大するのにしたがって狭くなった。NA=1.40の対物レンズを使って,575~625nmの検出波長範囲において,300nm幅の線を分解するためには,100nmの空間幅で十分であることを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 蛍光顕微鏡 ,  *押付成形 ,  *分解能 ,  光重合型樹脂 ,  熱可塑性プラスチック ,  開口数 ,  紫外線硬化樹脂
準シソーラス用語： *ナノインプリント

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (30件)：

• 1) H. Schift: J. Vac. Sci. Technol. B 26 (2008) 458.
• 2) S.Y. Chou, P.R. Krauss, and P.J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 3) S.Y. Chou, P.R. Krauss, and P.J. Renstrom: Science 272 (1996) 85.
• 4) J. Haisma, M. Verheijen, K. van den Heuvel, and J. van den Berg: J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 4124.
• 5) S. Matsui, Y. Igaku, H. Ishigaki, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, M. Komuro, and H. Hiroshima: J. Vac. Sci. Technol. B 19 (2001) 2801.

タイトルに関連する用語 (4件)： 蛍光顕微鏡 ,  ナノインプリント ,  分解能 ,  限界