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J-GLOBAL ID：201302225472087220   整理番号：13A0853640

太陽電池用のO₃に基づくバッチ原子層堆積AlO_xのc-Si表面不動態化機構の詳細な研究

Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O₃-Based Batch Atomic Layer Deposited AlO_x for Solar Cell Applications

著者 (19件)： LEE Hyunju (Meiji Univ.) ,  LEE Hyunju (JST-CREST) ,  TACHIBANA Tomihisa (Meiji Univ.) ,  TACHIBANA Tomihisa (JST-CREST) ,  IKENO Norihiro (Meiji Univ.) ,  IKENO Norihiro (JST-CREST) ,  HASHIGUCHI Hiroki (Meiji Univ.) ,  HASHIGUCHI Hiroki (JST-CREST) ,  TSUCHIYA Yuki (Meiji Univ.) ,  TSUCHIYA Yuki (JST-CREST) ,  ARAFUNE Koji (Univ. of Hyogo) ,  ARAFUNE Koji (JST-CREST) ,  YOSHIDA Haruhiko (Univ. of Hyogo) ,  YOSHIDA Haruhiko (JST-CREST) ,  SATOH Shin-ichi (Univ. of Hyogo) ,  SATOH Shin-ichi (JST-CREST) ,  CHIKYOW Toyohiro (National Inst. for Materials Sci. (NIMS)) ,  OGURA Atsushi (Meiji Univ.) ,  OGURA Atsushi (JST-CREST)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 60th  ページ： ROMBUNNO.29P-PA9-11  発行年： 2013年03月11日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *化学蒸着 ,  *不動態化 ,  酸化アルミニウム ,  ケイ素 ,  *表面不動態化 ,  *改変
準シソーラス用語： *原子層堆積

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 太陽電池 ,  O3 ,  バッチ ,  原子層堆積 ,  Si ,  表面不動態化 ,  研究