文献

J-GLOBAL ID：201302227151803767   整理番号：13A1165662

マイクロ電気機械システムの魚骨型共振器ベースのマルチ物理シミュレーションにおける可変共振周波数選択

Variable Resonance Frequency Selection for Fishbone-Shaped Microelectromechanical System Resonator Based on Multi-Physics Simulation

著者 (4件)： KURODA Shinjiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Naoya (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 6,Issue 2  ページ： 06GL14.1-06GL14.6  発行年： 2013年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,魚骨形の微小電気機械システム(MEMS)共振器を用いて,可変共振周波数選択の原則を示す。静電力に起因する共振器変位を解析するために,印加電圧負荷を機械的ドメインに結び付けるマルチ物理シミュレーションを行う。シミュレーションから共振器は梁に作用する三種類の静電力によって動作することが明瞭に示される。様々な共振モードのうち一つだけを選択する新しい周波数選択アルゴリズムも提示する。各駆動電極に印加される電圧を各共振モードの共振梁の変位に変換する変換行列を,実験測定により初めて導出する。これに続いて,行列を用いて各共振モードの除去率を最大化するための一連の電圧を計算する。この周波数選択法を,5つの駆動電極を持つ魚骨型MEMSにおいて応用し,初めの共振モードのうち5番目共振モードへの周波数選択に成功する。電圧設定の微調整から42デシベル除去比が得られる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *計算機シミュレーション ,  *共振器 ,  *共振周波数 ,  力 ,  振動モード ,  *選択 ,  梁 ,  骨 ,  形態 ,  *計算機アルゴリズム ,  行列 ,  魚骨 ,  変換行列 ,  静電気力 ,  *計算機利用 ,  *利用
準シソーラス用語： マルチ物理シミュレーション ,  静電力 ,  共振モード ,  周波数選択

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

引用文献 (32件)：

• 1) J. Wang, Z. Ren, and C.T.-C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 51 (2004) 1607.
• 2) Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C.T.-C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55 (2008) 890.
• 3) H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki: IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5 (2010) 164.
• 4) J. Verd, A. Uranga, J. Teva, J.L. Lopez, F. Torres, J. Esteve, G. Abadal, F. Perez-Murano, and N. Barniol: IEEE Electron Device Lett. 27 (2006) 495.
• 5) K. Wang, A.-C. Wong, and C.T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 9 (2000) 347.

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ ,  電気機械 ,  魚 ,  共振器 ,  マルチ ,  物理シミュレーション ,  共振周波数